除磁滯特性外，影響壓電陶瓷片定位精度的另一個(gè)特性是蠕變特性。 當(dāng)向壓電陶瓷片施加電壓時(shí)，壓電陶瓷片將立即膨脹并產(chǎn)生相應(yīng)的位移，此后很長(zhǎng)一段時(shí)間，壓電陶瓷的長(zhǎng)度將繼續(xù)產(chǎn)生輕微的伸長(zhǎng)變形. 我們稱之為隨后的輕微長(zhǎng)度變形蠕變. 蠕變量可通過(guò)以下公式計(jì)算。

　　 壓電陶瓷的蠕變系數(shù)約為1 % - 2 % 。

　　 蠕變量取決于總位移、蠕變系數(shù)、外部載荷、時(shí)間等. 壓電陶瓷。 蠕變也可以理解為取決于時(shí)間的對(duì)數(shù)。

　　 靜態(tài)或準(zhǔn)靜態(tài)操作下的蠕變我們通過(guò)實(shí)驗(yàn)進(jìn)行了測(cè)試，以獲得蠕變曲線:

　　 PST 150 / 5x 5 / 60的蠕變特性

　　 在這個(gè)實(shí)驗(yàn)中，蠕變系數(shù)取決于壓電材料、結(jié)構(gòu)和環(huán)境條件(例如.g. 負(fù)載力)。 10s蠕變是1. 2 μm和100 s的蠕變量為1. 8 μm。 蠕變實(shí)際上在位移(電壓)停止幾秒鐘后停止。

　　 動(dòng)態(tài)操作下的蠕變行為

　　 當(dāng)周期信號(hào)用于驅(qū)動(dòng)壓電陶瓷時(shí)，蠕變特性不會(huì)破壞壓電陶瓷的峰值和峰值的重復(fù)定位精度，因?yàn)槿渥兲匦跃哂泻軓?qiáng)的時(shí)間確定性，并且在每個(gè)正弦周期中蠕變量幾乎相同。

　　 模擬壓電陶瓷控制器驅(qū)動(dòng)壓電陶瓷. 正弦信號(hào)的全振幅位移為20 μm，峰值和峰值的重復(fù)定位精度優(yōu)于20 nm，約為全振幅的0 %.. 1 %。

　　 我們可以得出結(jié)論，即使在動(dòng)態(tài)操作中不使用閉環(huán)，壓電陶瓷位移的峰峰值也可以達(dá)到非常高的重復(fù)定位精度. 此時(shí)的重復(fù)定位精度僅取決于壓電控制器的性能。 我們明天推薦分辨率為0的e00 / e01系列核心模塊化控制器. 2mV。

　　 如果在靜態(tài)或準(zhǔn)靜態(tài)條件下工作，蠕變特性將對(duì)定位精度產(chǎn)生一定影響，這時(shí)，我們可以使用閉環(huán)形式的壓電陶瓷和控制器， 內(nèi)置高精度傳感器的壓電致動(dòng)器，可以實(shí)時(shí)檢測(cè)位置信號(hào)并反饋給壓電控制器.，壓電控制器通過(guò)PID算法實(shí)時(shí)調(diào)整電壓來(lái)校正位移，以實(shí)現(xiàn)全振幅為0. 05 %重復(fù)定位精度。